Thermo Scientific™ Prisma™ E SEM扫描电子显微镜

Thermo Scientific™ Prisma™ E SEM是首台支持一体化ColorSEM技术进行直观元素分析的钨灯丝扫描电子显微镜。Prisma 配置环境真空模式,并可灵活配置,多种配件选项能够满足各种需求。

学术和工业研究实验室需要利用现代化SEM从最广泛的样品中获得大量数据,并获得出色的图像质量。同时,由于多数实验室均为多人操作或管理设备,SEM要简便易用,才能确保不同经验程度的用户都能轻松访问所有数据。Thermo ScientificTM PrismaTM E SEM可满足以上所有要求。

Prisma E SEM 继承了原FEI公司成熟的Quanta SEM技术,并将系统易用性、性能和灵活性提升到新的高度。其样品仓可容纳大样品和更多探测器选项,全新样品台及样品托一次可加载多达18个样品,利用图像导航功能,可快速查找并定位样品。

用户界面提供多种新颖功能,如Undo(撤销)/Redo(重做)等,提高工作效率,并使新手用户更快上手。用户界面可定制化设置,可保留惯用的设置,以满足专家用户和新手用户的不同需求。ESEM的原位和环境功能可以在任意真空条件下对任意样品实现高质量成像,同时,多种原位实验台通过软件集成到系统中,能够在现在现实条件下对样品进行原位研究。

最新一代Prisma E SEM可搭载Thermo Scientific ColorSEM技术,该技术将传统的SE或者BSE成像技术与实时元素分析结合,利用先进算法,即时在SEM图像上添加色彩代表化学成分,结合形状,帮助用户快速进行材料识别。ColorSEM技术可提供关键的样品信息,从而实现更完整的材料表征。

Thermo Scientific™ Prisma™ E SEM扫描电子显微镜主要优势

1、在自然状态下对材料进行原位研究: Prisma E SEM提供独特的环境扫描模式(ESEM)。

2、最大程度缩短样品制备时间:低真空和环境真空技术可针对不导电和/或含水样品直接成像和分析,样品表面无荷电累积。

3、观察所有样品获取全面的信息:在每种操作模式下均可同时进行SE和BSE成像。

4、原位分析:配置专门的原位实验台,温度范围从-165℃到1400℃。

5、卓越的分析功能:大样品仓可同时安装3个EDS探测器、WDS和共面EDS/EBSD,其中两个EDS端口为180°正对。

6、卓越的不导电样品分析功能:借助多级“穿过透镜”的压差真空系统,实现低真空下的高质量EDS 和 EBSD 分析。

7、高精度优中心样品台,105°倾斜角度范围,可全方位观察样品。

8、软件直观、简便易用,配置用户向导及 Undo(撤销)功能,新手用户可进行高效操作,专家用户也可进行更少的操作,完成快速分析。

9、广泛的配置选项,包括可伸缩的RGB阴极荧光(CL)探测器、1100℃高真空热台、_Heater 和Autoscript(基于Python的脚本工具API)。

材料科学SEM

对于需要全方位性能和易用性的多用户实验室而言,最完整的SEM。

新型Prisma E扫描电子显微镜(SEM)将各种成像和分析模式与新的先进自动化相结合,为同类仪器提供最完整的解决方案。它非常适用于需要高分辨率,样品灵活性和易于使用的操作界面的工业研发,质量控制和故障分析应用。Prisma E成功获得了极为成功的Quanta SEM。

出色的成像

多用户实验室需要显微镜在短时间内生成具有相关数据的高质量图像。Prisma E采用基于四极管组件的强大成像系统满足了这一需求,可在各种光束能量和真空条件下提供出色的结果。在所有这些条件下,地形图和成像图都提供必要的样本信息。通过同步采集,该信息可供随后进一步解释和分析。

轻松导航

寻找感兴趣的区域甚至找到样品本身都是一项繁琐的工作……但不是在Prisma E上。室内导航相机(Nav-Cam)提供样品架的详细照片,使其易于使用一个会话中的多个样本并逐个导航到它们。在示例中,只需单击它即可转到感兴趣的区域。导航凸轮图像与样本一起旋转,因此导航非常直观。

样本灵活性

今天的研究超越了传统金属和涂层样品 – 非导电材料,大型或重型样品,脏样品甚至湿样品都需要在微观尺度上进行研究。Prisma E具有三种成像模式 – 高真空,低真空和ESEM™ – 适用于任何SEM的最广泛样品。此外,Prisma E的腔室适合大样品,并配备110×110 mm 5轴电动中心平台,倾斜范围为105°,可以从各个角度观察样品。

支持分析

Prisma E的分析室支持对元素(EDX,WDS)和晶体学(EBSD)样品数据的日益增长的需求,该分析室支持多个EDX检测器以提高通量并消除阴影效应。此外,分析室支持共面EDX / EBSD和平行光束WDS,以确保所有技术的最佳定位。得益于Prisma E的原位功能,即使在绝缘或高温样品上也能获得可靠的分析结果。

光子学,地球科学,陶瓷,玻璃和故障分析应用的附加样品信息来自独特的可伸缩RGB阴极发光检测器。

典型应用包括:

1、纳米表征:

–  金属及合金、断口、焊点、抛光断面、磁性及超导材料

– 陶瓷、复合材料、塑料

– 薄膜/涂层

– 地质样品断面、矿物

– 软材料:聚合物、药物、滤膜、凝胶、生物组织、植物材料

– 颗粒、多孔材料、纤维

2、原位表征:

– 结晶/相变

– 氧化反应、还原反应、催化反应

– 材料生长

– 水合/脱水/润湿/接触角分析

– 拉伸 (伴随加热或冷却)

Thermo Scientific™ Prisma™ E SEM扫描电子显微镜技术参数:

1、电子光学:

1)发射源:钨灯丝(高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪)

2)固定式物镜光阑,无需手动调整使用方便

3)加速电压:200V – 30kV,自动256级偏压设计

4)放大倍数:6x – 1,000,000×

5)极靴内有一路单独抽真空系统,保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染,延长灯丝寿命

6)电子束束流:可达到的最大值不小于2μA,并连续可调

7)使用工厂预对中灯丝更换方便

2、真空系统

1)1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵

2)高真空模式:<1×10-5 Pa

3)低真空模式:10 – 130 Pa

4)环境真空模式:10 – 2600 Pa

5)高真空模式下的换样时间:≤150秒

6)低真空及环境真空模式下的换样时间:≤270秒

3、电子束分辨率

A:高真空模式下成像

1)30 kV下3.0 nm (SE二次电子)

2)30 kV下4.0 nm (BSE背散射电子)

3)3 kV下8.0 nm (SE二次电子)

B:电子束减速下高真空模式下成像

1)7.0 nm @ 3 kV (电子束减速模式 + DBS)

C: 低真空模式下成像

1)3.0 nm @ 30 kV (SE二次电子)

2) 4.0 nm @ 30 kV (BSE背散射电子)

3)10 nm @ 3 kV (SE)

D:环境模式下成像

1)30 kV下3.0 nm (SE二次电子)

4、样品仓

1)内宽:340 mm

2)分析工作距离:10 mm

3)端口:12

4)EDS 出射角:35°

5)可同时安装三个 EDS 探测器,其中两个处于 180°正对

6)共面 EDS/EBSD ,与样品台倾斜轴垂直

7)通用 9 针电气接口