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TESCAN GAIA3双束电镜(FIB-SEM)

2019-10-26 12:19| 发布者: tianxia| 查看: 90| 评论: 0

摘要: TESCAN GAIA3双束电镜(FIB-SEM)是一款可以挑战纳米设计应用的理想平台,它同时具备高精度及微量分析能力。GAIA3 适用于高质量超薄 TEM 样品制备、在技术节点减少流程、精确的纳米构图或高分辨率的三维重构。这些特征使得 GAIA3 成为低能电子束成像应用的理想工具,保留易受电子束损坏的样品的精细结构,如低介电常数材料、光 ...

TESCAN GAIA3双束电镜(FIB-SEM)是一款可以挑战纳米设计应用的理想平台,它同时具备高精度及微量分析能力。GAIA3 适用于高质量超薄 TEM 样品制备、在技术节点减少流程、精确的纳米构图或高分辨率的三维重构。

这些特征使得 GAIA3 成为低能电子束成像应用的理想工具,保留易受电子束损坏的样品的精细结构,如低介电常数材料、光阻材料及未涂覆生物样品。在样品改性方面,GAIA3 也代表了挑战纳米加工的最适合解决方案。

TESCAN GAIA3双束电镜(FIB-SEM)突出特点

Triglav™ - 新型超高分辨率 ( UHR ) 电子光学镜筒

TriLens™ 物镜系统:独特的电子束无交叉模式与超高分辨率物镜相结合

具有多个 SE 及 BSE 探测器的先进探测系统

TriSE™ + TriBE™

Triglav™ - 低加速电压下的超高分辨率: 1 nm (1 kV ),0.7 nm (15 kV )

EquiPower™ 进一步提高电子束的稳定性

电子束流高达 400 nA,并能实现电子束能量的快速改变

优化的镜筒几何设计最大可容纳8”晶圆

Cobra FIB 镜筒

高性能镓离子 FIB 镜筒,实现超高精度纳米建模

探针电流:1 pA ~ 50 nA

分辨率:< 2.5 nm @ 30 kV (在 SEM 电子束与 FIB 离子束的重(叠)合点)

在刻蚀和成像方面拥有最顶尖水平的技术

Cobra 可保证在最短时间内完成横断面处理及 TEM 样品制备

适合生物样品的 3D 超微结构研究,如组织、完整的细胞等

低电压下绝佳的性能,适合于刻蚀超薄样品和减少非晶层


关于 TESCAN

作为科学仪器的全球供应商之一,TESCAN 正为其在设计、研发和制造扫描电子显微镜及系统解决方案在不同领域的应用方面树立良好的声誉和品牌。

TESCAN 专注于研究、开发和制造科学仪器及实验室设备,例如:

扫描电子显微镜

电镜附件

光学显微镜配件和图像处理技术

独特的真空样品室和定制系统

探测器系统

分析硬件和软件开发

TESCAN 中国总部

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TESCAN ORSAY HOLDING, a.s. 

地址:Libušina tř. 21623 00 Brno - Kohoutovice Czech Republic

电话:+420 530 353 411

邮箱​:info@tescan.com


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