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Thermo Scientific™ Verios G4极高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)

2019-11-16 19:06| 发布者: doudoudou| 查看: 94| 评论: 0

摘要: Thermo Scientific Verios G4极高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)提供确定根本原因缺陷、产量损失以及过程和产品故障所需的能力和灵活性。Verios G4是源于我们大获成功的Helios DualBeam系列 (聚焦离子束/扫描电子显微镜)仪器的扫描电子显微镜解决方案。它提供各种环境下行业领先的性能,尤其是用于先进工艺的光束敏感材料所 ...

Thermo Scientific Verios G4极高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)提供确定根本原因缺陷、产量损失以及过程和产品故障所需的能力和灵活性。

 Verios G4是源于我们大获成功的Helios DualBeam系列 (聚焦离子束/扫描电子显微镜)仪器的扫描电子显微镜解决方案。它提供各种环境下行业领先的性能,尤其是用于先进工艺的光束敏感材料所需的低电压环境。

Thermo Scientific Verios G4极高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)性能指标        

二次电子分辨率:0.6 nm@15kV; 0.6nm@2kV; 0.7nm@1kV;1.0nm@0.5kV; 1.2nm@0.2kV

放大倍率:40 ~ 900,000

加速电压:0.2kV ~ 30 kV

着陆电压:20V ~ 30kV

电子束流:0.8pA ~ 100nA


Thermo Scientific Verios G4极高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)主要应用        

纳米材料形貌像分析以及材料微区域EDS能谱分析,其广泛应用于材料、化学化工、机械、医学等领域。


Thermo Scientific Verios G4极高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)样品要求        

1.送检样品必须为干燥固体,表面清洁;

2.应有一定的物理、化学稳定性,在真空中及高能电子束轰击下不会挥发或变形;

3.无毒、无放射性、无腐蚀性、无磁性;

4.尺寸不大于50*50*15mm。


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