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[专家学者] 重庆大学材料学院Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜

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发表于 2017-3-27 08:59:53 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜
技术指标:
SEM分辨率1.0nm @ 15kV
1.9nm @ 1kV
放大倍数Mag.:12 ~ 1000,000x
加速电压EHT:0.1 ~ 30kV
FIB分辨率Resolution:2.5nm @ 30kV
放大倍数Mag.:300×500,000×
加速电压EHT:1.0 ~ 30Kv


主要功能:
场发射扫描电镜(SEM)
3D背散射电子取向成像系统(EBSD)
聚焦离子束系统(FIB)


联系人:
张育新  电话:15823956795 地址: 重庆大学综合实验大楼607室

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