南方科技大学扫描电子显微镜及辅助设备

duojun990

扫描电子显微镜及辅助设备
设备归属 : 成像平台
设备管理员联系方式 :
顾瑞 88015497 gur@sustc.edu.cn

设备品牌:
Zeiss Merlin
1.         扫描电子显微镜 （设备品牌：ZEISS， 型号：Merlin）
1.1          电子枪:肖特基热场发射电子枪
1.2          电子光学分辨率：0.8nm @ 15KV
1.3          放大倍率：×12 ～ ×2,000,000
1.4          束流强度：5pA～20nA
1.5          加速电压: 0.02 to 30kV ( 10V steps)
1.6          最大样品直径:200mm径以上
1.7          镜筒设计满足铁磁等磁性材料的方便观测
1.8          镜筒内In-lens 环型SE探测器, EsB能量选择式（带过滤栅网0-1500V）高衬度背散射探测器， 样品室独立的二次电子探测器，AsB4角度选择式背散射电子探测器。
1.9          透射电子探测器（STEM），含明、暗场模式。
1.10       全无油真空系统；样品室真空度：高真空模式优于
1.11       样品室的宽度和内部直径不小于330nm,高度不小于270mm.样品台为五轴优中心全自动样品台，移动范围指标:130mm（X方向）,130mm(Y方向), 50mm(Z方向)，-370°（倾斜），360°（旋转）。
1.12       配置样品交换室和等离子清洗装置
2           能谱仪（EDS）（设备品牌：EDAX， 型号：Octane  Pro）
2.1          能谱探头类型：场效应管（FET）内置的高速SDD芯片，晶体有效检测面积10mm2, 内置脉冲处理器；
2.2          可分析元素范围：Be4U92
2.3          能量分辨率（Mn-Ka）：优于127eV
2.4          具备点、线、面扫描分析功能
3           波谱仪（WDS）（设备品牌：EDAX， 型号：LEXS）
3.1          光学系统：采用结构紧凑，采集高效的平行光谱仪；衍射晶体数目：5块晶体，并可同时安装在谱仪中
3.2          测量能量范围：100 ～2,400eV
3.3          分辨率：在整个能量范围内，优于20eV
3.4          探头无需冷却
3.5          与能谱(EDS)完全集成，可以同时进行EDS和WDS数据的采集
4           电子背散射衍射仪（EBSD）（设备品牌：EDAX， 型号：Digiview4）
4.1          EBSD探头：百万像素（1392 X 1040 ）高分辨率数字CCD相机，马达驱动，配备接触传感器以防相机碰撞。
4.2          指标化速度：150点/秒，在2nA的束流条件下用镍试样测量，并保证99%的标定成功率。
4.3          由电子衍射得到的EBSD专用数据库：300个相结构；支持所有主要的第三方数据库，具有人工建立数据库功能；
5         喷涂镀膜仪 （设备品牌：Quorum， 型号：Q150TES）
5.1          工作腔室：165mm（外径）×127mm（高）
5.2          真空系统：旋转机械泵＋涡轮分子泵
5.3          极限真空度：10-5mbar量级
5.4          气体需求：溅射工作气体为氮气
5.5          靶材：配置Cr、Pt靶各一个，碳制品为高纯度碳棒