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杨庆远教授课题组在电子气体分离研究领域取得重要进展

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发布时间: 2022-6-20 08:56

正文摘要:

六氟化硫(SF6)作为一种电子气体,具有良好的化学稳定性、耐腐蚀性和电绝缘性,在半导体、电力设备、航空航天、金属加工、医疗等领域应用广泛。但六氟化硫也是《联合国气候变化框架公约》中重点控制的温室气体之一, ...

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