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目前,全固态深紫外激光器必须通过非线性光学晶体进行波长转换才能产生深紫外激光。利用深紫外非线性光学晶体对红外(如波长1064nm)激光进行多级倍频转换,可以获得波长小于200 nm、光子能量高、光束质量好的深紫外 ...
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