彭海琳课题组在高κ自然氧化物栅介质的二维电子学研究中取得重要突破

正文摘要:

硅和氧是地球表面含量最高的两种元素。半导体硅的性质非常优异且均衡，一直是半导体和集成电路产业界的绝对主流材料，其中一个关键原因是硅的自身氧化物二氧化硅同时兼具高度致密、均匀、绝缘的特性，且二者界面质量 ...