苏州纳米所张子旸联合国家纳米中心在超高精度激光光刻技术上取得重要进展

正文摘要:

亚10 nm的结构在集成电路、光子芯片、微纳传感、光电芯片、纳米器件等技术领域有着巨大的应用需求（图1），这对微纳加工的效率和精度提出了许多新的挑战。激光直写作为一种高性价比的光刻技术，可利用连续或脉冲激光 ...