中科院苏州纳米所丁孙安

dasaochu

姓 名:丁孙安        
性    别:男
职 务:
职    称:研究员
学 历:博士研究生        
通讯地址:苏州工业园区若水路398号
电 话:
邮政编码:215123
传 真:
电子邮件:adingsun2014@sinano.ac.cn
简历：
    1986年和1988年分别获得清华大学电子工程系学士和硕士学位；1992年获得中科院半导体所物理学博士学位。1994-1996于德国马普学会的弗里兹-哈伯研究所(Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft) 完成博士后工作，又先后在日本广岛大学 (日本科学技术振兴事业团研究员)和美国缅因大学从事科学研究工作。2000-2014年，在美国朗讯科技和英特尔公司从事技术研究和产品开发工作。 2014年入选苏州工业园区金鸡湖双百人才（国际型学科领军人才）。现任中科院苏州纳米所研究员、博士生导师，纳米真空互联实验站副总指挥。
研究领域：
　　半导体薄膜材料与器件物理， 材料表征与测试， 表面与界面分析，真空技术与应用。  

xueyan

应对未来纳米领域研发挑战的真空互联技术

Vacuum-interconnected Technology for Now Challenges in Nano-Researches

丁孙安

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，苏州工业园区，若水路385号

adingsun2014@sinano.ac.cn

随着纳米器件尺度的进一步缩小，材料的量子效应，小尺寸效应，及表面、界面效应对器件性能的影响越来越大。目前的制造技术很难解决大气环境（特别是氧、碳、水气）在关键工艺过程中对材料表面的不利影响。另一方面，纳米新材料的不断涌现，应用基础研究和器件工艺开发越来越重要，迫切需要将从材料到器件各个阶段的研究和开发紧密结合起来，创新研究手段，突破技术难题。

中科院苏州纳米所在建的纳米真空互联实验站（Nano-X）将开创一条新的科学研究和技术开发路线。它不但要实现环境可控，最大限度排除大气的不利影响，而且要把材料生长、器件工艺、测试分析的各种设备有机互联在一起，提供从基础研究到产业化的全链条支撑，从而更有效的探索材料、器件的本征性质，开发新材料、新工艺、新器件，大大缩短和简化从基础研究到应用开发的过程。真空互联技术不但可以解决目前大气环境下分立设备难以解决的关键问题，而且可以在同一平台上开展多领域的合作研究，更好实现多学科的交叉融合、突破创新。

纳米真空互联实验站（Nano-X）是一个完全对外开放的研发平台，目前正在全面建设与试运行。如下图所示的系统包括了分子束外延、气相外延、原子层沉积、超高真空磁控溅射等多种材料制备设备，光电子能谱、二次离子质谱、电子显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜等先进分析表征手段，以及超高真空等离子体刻蚀、超高真空快速退火、表面处理等工艺能力。经过三年多的努力，已经解决了多项超高真空技术方面的技术难题，实现了不同样品真空下的兼容与快速转移，开发出避免或消除设备之间的相互影响的技术等。

在我们目前合作开展的研发工作中，真空互联技术在解决与表面态、界面态及量子效应相关的科学与技术难题上已经发挥出明显的优势。在III-V化合物能带工程方面，我们正在建立一个快速、准确的异质结带阶原位测量方法；在金属与宽禁带半导体接触的界面特性研究方面，已经探测到表面态的及表面杂质缺陷对界面性质与接触机理的关键影响；在纳米能源与表面催化方面，环境可控的互联技术正在发挥重要的作用。

                              

关键词：真空互联；纳米材料与器件；表面态；异质结