复旦大学材料科学系二次离子质谱仪

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二次离子质谱仪  (Secondary Ion Mass Spectromtry)
  型号规格：        IMS6F         
  所属部门：        材料科学系          产地国别：        法国
  生产厂商：        CAMECA          存放地点：        材料一楼1102
  
详细信息与技术指标
  主要技术指标：        （1）深度分辨率：几个纳米；（2）空间分辨率：<一个微米；（3）质量分辨率：m/m5000（4）检测灵敏度：ppmppb；（5）绝缘层厚度为几个微米的样品质谱分析
  功能/应用范围：        （1）样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析；（2）样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析；（3）样品组分和杂质元素面分布的离子图象；（4）多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析；（5）厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析
  技术特色：        （1）进行其它表面分析仪器所不能分析的元素氢（H）的检测；（2）IC工艺结深、表面金属化、背面金属化和表面钝化层的质谱检测与深度剖析；（3）半导体材料和光电材料Si,GaAs,HgCdTe,Ge,AsGaIn和InP等的质谱检测与深度剖析；（4）SOI材料性能和工艺的检测；（5）机械设备和金属材料中杂质元素氢（H）的检测，氢脆和金属疲劳机理的探讨
  主要测试和研究领域：        材料/珠宝首饰 电子/信息技术 能源/核技术
  收费标准：        其它收费方式
联系信息
  仪器负责人：        钟高余          电话：        021-65642393
  手机：                  电子邮件：        ymcao@fudan.ac.cn,gyzhong@fudan.edu.cn
  传真：        021-65103056          其他联系方式：       
  通讯地址：        上海邯郸路220号复旦大学材料科学系          邮政编码：        200433
  仪器网址：