复旦大学材料科学系磁控溅射系统

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磁控溅射系统  (Sputtering System)
  型号规格：        DISCOVERY 18         
  所属部门：        材料科学系          产地国别：        美国
  生产厂商：        美国DENTON          存放地点：        材料一楼406室
  
详细信息与技术指标
  主要技术指标：        真空度达1X10-6乇， 衬底温度可达100度 直流溅射电源功率1000瓦
  功能/应用范围：        有2个DC溅射靶，可以在真空状态下溅射生成一类材料薄膜或多层不同薄膜，也可以两种不同的材料共溅射，溅射时衬底可加热，可自动操作，使用方便，对于研究材料和器件有很大作用。
  技术特色：       
  主要测试和研究领域：        材料/珠宝首饰 电子/信息技术 其他
  收费标准：        按样品、小时数收费
联系信息
  仪器负责人：        戎瑞芬          电话：        65642390
  手机：                  电子邮件：        rfrong@fudan.edu.cn
  传真：        65103056          其他联系方式：       
  通讯地址：        上海市邯郸路220号          邮政编码：        200433
  仪器网址：