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[材料测试] 中南大学材料科学与工程学院薄膜沉积系统

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发表于 2017-5-20 13:26:29 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
薄膜沉积系统
联系人        李志成
邮箱        zhchli@csu.edu.cn
电话        0731-88877740
生产厂家        中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号        JGP450
购买日期        2012.09.18
主要规格及技术指标
极限真空度:≤6.67x10-5 Pa; 系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;
主要功能及特色
主要用于氧化物等化合物薄膜沉积

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