华南理工大学理学院激光分子束外延系统

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激光分子束外延系统
领用人：陈熹   电话：020-87113934   邮箱：xichen@scut.edu.cn
领用单位：        应用物理教研室        国别：        中国
仪器型号：        *        学科类型：        核子仪器
生产厂家：        中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司        购置日期：        2009-11-03
管理员：        wbkong(主)         使用方向：        科研
存放地点：        五山路491号华南理工大学        编号：        09703380
主要功能及用途：         薄膜样品制备
技术参数：        外延室极限真空优于5*10-8 Pa，真空漏率小于5*10-8 Pa L/S；进样室极限真空优于5*10-5 Pa，真空漏率小于5*10-8 Pa L/S；4个靶位；靶材最大尺寸F70mm；靶与样品间距30~90mm可调；靶材可实现自转，转速5~60转/分，连续可调；基片台可前后移动-20~+30mm；基片可连续回转，转速5~60转/分；基片可电阻丝加热