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[材料测试] 天津大学大型仪器管理平台金属薄膜溅射仪

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发表于 2017-5-7 10:11:38 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
金属薄膜溅射仪
联系人 陈峯, 王超, 孙崇玲
地址 天津大学主校区
生产厂家
英国 AviIa TechonLogy INc
型号 Sigmafxp
规格Sigmafxp
主要规格及技术指标
薄膜应力-250+0+100 沉积速率7200 硅片不均匀性〈1.5
主要功能及特色
金属薄膜溅射
主要附件及配置
冷泵,压缩机,真空泵

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