上海交通大学分析测试中心三离子束切割仪

huangsha

仪器名称        三离子束切割仪        
英文名称       
规格/型号        *Leica EM TIC 3X/*EM TIC 3X
生产厂商       
国别        德国
所属单位        分析测试中心>>120        放置地点        120(120)
负责人        丁莹 邮箱：yding16@sjtu.edu.cn
鲍中秋 邮箱：baozq@sjtu.edu.cn
洪立芝 邮箱：honglizhi@sjtu.edu.cn
收费标准        计时标准：按刷卡使用时间
基础费率：
离子束研磨：
平面抛光【校内:200元 校外:400元】／小时
截面抛光【校内:200元 校外:400元】／小时
性能指标        三把离子枪，离子束能量1~10keV，可选择任意离子枪；可进行离子束切割或刻蚀，切割速率150μm/h（Si@10kV，50μm切割高度），可获得的有效切割截面面积4×1mm；离子束处理过程中样品位置固定，无需偏转运动，无投影效应，热传导性好；样品处理过程可通过体视镜实时监控；真空泵解耦合设计，无震动传导；触摸屏操作面板，直观、简易操作，通过USB即可进行参数和程序的上传或下载。
主要应用        Leica EM TIC 3X三离子束切割仪几乎适用于任何材质的样品，特别适合于软/硬复合、带有孔缝结构、脆性及非均质样品等高难度样品，获得样品截面，从而进行扫描电子显微镜，微区分析（EDS，WDS，Auger，EBSD）以及原子力显微镜或扫描探针显微镜检测。
样品要求        样品上下表面平行；截面切割样品尺寸≤50×50×10mm；平面抛光样品直径≤20mm，厚度≤12mm。
仪器说明        Leica EM TIC 3X通过离子枪激发获得的离子束，以垂直于样品的侧面纵向轰击样品，可获得高质量无应力“切割”截面，便于扫描电镜观察。该处理方法适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度样品的制备；仪器操作简单，可有效避免涂抹效应，不需要大量摸索条件即可获得理想的截面，使样品暴露内部细微结构信息。