武汉大学物理科学与技术学院复合离子注入机

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设备编号*11000696
分类编号
仪器中文名称*复合离子注入机
仪器外文名称 MEVVA Source Ion Implanter
仪器规格型号* 研制
仪器总价（元）*
生产厂商* 成都同创材料表面新技术工程中心
产地国别* 中国
生产日期 2011
启用日期*2011.11
所在单位*物理学院
实验室名称
安放详细地址*物理学院1楼
联系人*蔡光绪
电话  18986281556
E-mail jyk@whu.edu.cn
测试服务标准*
按样品数            元/个，  按机时数             元/小时
每周开放机时数*
主要技术指标*
系统真空指标：极限压力: 优于8×10-5Pa，进样室从大气开始抽气，60分钟可达2×10-4Pa,无油污染。
离子源：a) 一个MEVVA型高能金属离子源；一个高能kaufman气体离子源。b)      离子源能量连续可调，气体源注入电压可达10-100 KV，金属源可达10-100 KV，束斑100 mm。
用户范围
及服务项目*
高校及科研院所
主要应用成果
1.       SCI检索论文约10篇/年；
2.       授权专利：1-2项/年；
3.       研究生实验1项；毕业（设计）论文1-2项。
4.       科研课题6项。