武汉大学物理科学与技术学院电子束蒸发设备

gogoali

设备编号*11000001
分类编号  03
仪器中文名称*电子束蒸发设备
仪器外文名称 Electron beam evaporationequipment
仪器规格型号*PVD75
仪器总价（元）*
生产厂商*Kurt J. Lseker Company
产地国别*美国
生产日期 2009年4月
启用日期*2009年6月
所在单位*物理科学与技术学院
实验室名称 纳米光子器件实验室
安放详细地址*物理科学与技术学院3区401室
联系人*汪国平
电话 13871389101
E-mail gp_wang@whu.edu.cn
测试服务标准*
按样品数      500      元/个，  按机时数          元/小时
每周开放机时数*30小时/周
主要技术指标*
磁控溅镀
金属及无机物料的热蒸镀
电子束蒸镀
离子束辅助沉积
主要附件及功能*
高压发生器                         电源系统
电子束控制器                       计算机系统
PVD75工艺腔体                     电子束发射源
真空泵
系统机架
供水系统
用户范围及服务项目*
主要应用成果
Q. Li and G. P. Wang, ”Tunable photonic metamaterials in the near infrared frequencies”, Optics Express,18,14123(2010);
Y. Gu, Q.LI, J. Xiao, K. Wu, and G. P. Wang, “Plasmonic metamaterials for ultrasensitive refractive index sensing at near infrared”, Journal of Applied Physics, 109, 023104(2011);
Q. Li, W.Lin, and G. P. Wang, “An optical magnetic metamaterial working at multiple frequencies simultaneously” Applied Physics Letters, 99, 041109(2011);
Y. Gu, Q. Li and G. P. Wang “Dielectric supported ring-shaped metal disks on a metal film for ultrasensitive refractive index sensing”, Optics Letters, 36, 3326(2011)