武汉大学物理科学与技术学院溅射镀膜机

gogoali

设备编号*09000050
分类编号03060302
仪器中文名称*溅射镀膜机
仪器外文名称
仪器规格型号*ACS-4000-C4
仪器总价（元）*
生产厂商*日本真空
产地国别*日本
生产日期
启用日期*2009.3
所在单位*武汉大学物理科学与技术学院
实验室名称
安放详细地址*1区103
联系人*肖湘衡
电话*68752481-2212
E-mail xxh@whu.edu.cn
测试服务标准*
按样品数 200  元/个，  按机时数   100   元/小时
每周开放机时数*10
主要技术指标*
真空室极限真空为1.0x10-5Pa
最大样品4英寸
薄膜厚度不均匀性≤±5%
工件烘烤600度
控制系统采用可编程控制器，内部包含真空系统、传动及提升等电器控制和互锁关系
主要附件及功能*
可用于制备金属、绝缘体、半导体、磁性材料复合膜，也可以镀制单层膜及多层膜等。配备直流电源、射频电源。
用户范围
及服务项目*
面对全校开放，薄膜制备