武汉大学化学与分子科学学院大型仪器平台场发射扫描电子显微镜

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场发射扫描电子显微镜
联系人        曹余良, 江晓宇
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生产厂家       
型号        Zeiss Merlin Compact
购买日期        2016.08.08
主要规格及技术指标
（1）电子光学系统 加速电压：0.1 kV～30 kV；分辨率： 0.8nm @ 15kV 1.6nm @ 1kV。 图像放大倍数：12～1000,000×（二次电子像），100~1000.000×（背散射电子像） （2）X射线能谱系统 X射线显微分析系统（能谱仪）（EDS）：作为电子探针的附件配置在ULTRA PLUS-43-13型电子探针上使用。 型号：X-MaxN型电制冷能谱仪　 生产国别厂家：　英国牛津仪器公司　 主要技术指标：分辨率：优于127eV；MK峰背比：20,000:1； 稳定性：1,000cps~100,000cps时，谱峰漂移＜1eV，分辨率变化＜1eV，48小时内谱峰漂移＜1.5eV（Mn Kα） 元素探测范围：探测到低至铍（包括铍）的所有元素 主要用途：元素的定性分析、线、面分布等，X-Max 50型电制冷能谱仪无需添加液氮，方便快捷，具有图像及成分图的能谱分析系统，具有分辨率高等特点。可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，进行材料表面微区成分的定性和半定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。 （3）电子背散射衍射图像采集系统 电子背散射衍射仪（EBSD）：作为附件配置在ULTRA PLUS-43-13场发射扫描电镜上，为分析样品晶粒取向分布、织构等信息提供支持。 原理：基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析，从而得到晶体结构、取向及相关信息。 型号：HKL Max 生产国别厂家：英国牛津仪器公司 主要技术指标：EBSD花样分辨率达640×480像素；高灵敏度（加速电压＞3kV，束流＞500pA即可得到明显衍射花样）；最大在线标定解析速度≥640点/秒


主要功能及特色
主要附件与配置