苏州大学纳米科学技术学院电子束蒸发镀膜机

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仪器名称及型号 电子束蒸发镀膜机 PVD75
厂家 科特莱思科（上海）商贸有限公司
主要规格及技术指标
1. 基片尺寸≤Ф12英寸      
2. 电子枪功率：5-10 KW
3. 极限真空度：5×10-5 Pa  
4. 真空抽速：3*10-4 Pa/20 min
5. 衬底温度：350℃           
6. 温度均匀性：±10℃        
7. 样平台转速：≤20 r/min     
8. 坩埚数量：4  
9. 镀膜均匀性：±5%（Al）   
10. 控制系统：PC+PLC全自动控制
主要功能及应用范围
电子蒸发镀膜机是一种普适镀膜机，用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。
主要附件
机械泵
联系人：彭明发
联系电话：　65883196
E-mail：mfpeng@suda.edu.cn