南方科技大学聚焦离子/电子双束系统

duojun990

聚焦离子/电子双束系统
设备归属 : 成像平台
设备管理员联系方式 :
邱杨 qiuy@sustc.edu.cn 电话号码 +86(0)755-88015440


设备品牌:
FEI Helios Nanolab 600i


系统技术参数：
1 离子束系统：
1.1 离子源种类：液态Ga离子源；
1.2交叉点分辨率：≤ 4.0nm @ 30kV (采用Multi-edge平均值法测量)，≤ 2.5nm @ 30kV (采用selective edge最佳值法测量)；
1.3加速电压：最低加速电压500V, 最高加速电压为30 kV；
1.4束流强度最大可达65nA ；束流密度最大值可达60A/cm2；
1.5 拥有独立的分离式气体注入系统，可重新配置；具备金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行Pt等金属的沉积；配有C沉积、SCM金属增强刻蚀、XeF2绝缘体增强刻蚀；每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染。1.5 具备可直接导入Bitmap/CAD文件，按照预先设定的间距，进行离子束沉积，加工复杂图形的能力；
1.6 软件具备切片的三维重构能力；
2 电子束技术要求
2.1 电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝；
2.2 分辨率：在最佳工作距离：≤ 0.9nm @ 15kV；≤ 1.4nm @ 1kV；在束交叉点分辨率：≤ 1.0nm @ 15kV；≤ 1.6nm @ 5kV ；≤ 2.5nm @ 1kV；在束交叉点和大倾转角时，能有优异的图像质量(样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像)；
2.3 束交叉点工作距离：4－5mm；
2.4 加速电压：加速电压200V－30KV；束流强度：最大束流22nA；
2.5 可用探头：二次电子探测器、高分辨背散射电子探测器；
3 样品台:
3.1 五轴马达驱动样品台；样品室红外CCD相机；
3.2 X、Y方向移动范围不低于150mm，压电陶瓷驱动，回复精度小于1.0微米；Z方向移动范围不低于10mm，可绕Z轴旋转任意角度 (360度) ，旋转为压电陶瓷驱动；倾角范围包含 -10至60度，移动精度 (50至54度)：0.1度；X、Y方向最小移动步长100nm，水平漂移小于10nm/minute；
最大样品直径不大于150mm；
3.3 最大样品高度：样品台到束交叉点不高于50mm；
4 真空系统
4.1 机械干泵；磁悬浮涡轮分子泵；四个离子泵；
4.2 样品室真空度：<2.6′10-6mBar (连续24小时抽真空后)。
5 冷却水系统