中北大学磁控与离子束复合溅射沉积系统

hardday

磁控与离子束复合溅射沉积系统
联系人  武文革
生产厂家  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
邮箱 yqsbc1@nuc.edu.cn
型号 FJL-560a120499
电话  13754881640
购买日期 2015/09/18
主要规格和技术参数
极限真空度：≤6.67x10-6Pa (经烘烤除气后)； 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4Pa； 停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa
主要功能及特色
可用于开发纳米级的单层/多层功能膜—各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等。镀膜方式有直流直位、射频直位溅射镀膜，多靶位直流共溅镀膜，以及离子束沉积镀膜。