复旦大学物理学系超高真空磁控溅射仪

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超高真空磁控溅射仪  (ultra-high vacuum magneto-sputtering system)
  型号规格：        多功能三室         
  所属部门：        物理学系          产地国别：        中国
  生产厂商：        沈阳中科仪技术公司          存放地点：        科学楼529
  
详细信息与技术指标
  主要技术指标：        多功能三室7个靶位
  功能/应用范围：        给基片溅射镀各种膜制作样品
  技术特色：       
  主要测试和研究领域：        其他
  收费标准：        其它收费方式
联系信息
  仪器负责人：        陈焱          电话：        55664595
  手机：                  电子邮件：        022025253@fudan.edu.cn
  传真：                  其他联系方式：       
  通讯地址：        复旦大学物理系          邮政编码：        200433
  仪器网址：