复旦大学物理学系扫描式电子显微镜

jinbu

扫描式电子显微镜  
  型号规格：        Sigma型         
  所属部门：        物理学系          产地国别：        德国
  生产厂商：        Cal Zeiss公司          存放地点：        一楼右侧
详细信息与技术指标
  主要技术指标：        肖特基热场发射电子源 加速电压：100V~30KV 大放大倍率：12X~1000,000X SEM分辨率：1nm@30KV,1.5nm@15KV,2.8nm@1KV 电子束曝光：20nm 场拼接精度：<100nm 扫描频率：6MHz 图形格式：GDSII
  功能/应用范围：        通过图形发生器进行电子束直写曝光，制作纳米尺度图形（最小线宽20nm）。用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，也可以用于一般场发射电镜的形貌观察分析等。
  技术特色：       
  主要测试和研究领域：        材料/珠宝首饰 电子/信息技术
  收费标准：        按样品、小时数收费
联系信息
  仪器负责人：        张立建          电话：        021-65648597
  手机：                  电子邮件：        zhanglijian@fudan.edu.cn
  传真：                  其他联系方式：       
  通讯地址：                  邮政编码：       
  仪器网址：