华南理工大学分析测试中心离子减薄仪

sanguan

仪器名称：离子减薄仪

型号：691              

生产厂家：美国Gatan公司         

主要技术指标：

1.两个潘宁离子枪，减薄角度 +10° 到 -10°；

2.离子束能量 100eV 到6.0 KeV；

3.光束直径：5keV下350μm FWHM，宽离子枪5keV下800μmFWHM；

4.离子电流密度最大为10mA/cm2。

主要用途：

金属、陶瓷等试样的减薄，TEM样品的制备。