武汉大学物理科学与技术学院扫描电子显微镜

gogoali

设备编号*12000023
分类编号03040702
仪器中文名称*扫描电子显微镜
仪器外文名称Scanning electron microscopy
仪器规格型号*JSM-6510
仪器总价（元）*
生产厂商*日本电子株式会社
产地国别*日本
生产日期2011-12-20
启用日期*2012/3/5
所在单位*物理学院
实验室名称 应用物理
安放详细地址*物理学院2-104
联系人*刘传胜
电话*18972512093
E-mail  csliuan@whu.edu.cn
测试服务标准*
按机时数（图像观察）    200         元/小时，电子束刻蚀    400         元/小时
每周开放机时数*
主要技术指标*
二次电子像分辨率：2.5nm (30KV), 7nm (3KV);
2、放大倍数：x5 to x300,000;
3、加速电压： 0.5KV to 30KV,
4、束流：1pA to 1uA ;
5、全对中大样品台，样品的最大直径150mm,
样品台的移动范围：X:80mm, Y:40mm, Z:5~48mm, T:-10°to +90°, R:360°
6、真空系统：10-5Pa数量级
7、大视野观察范围（Large Field of View）
最低的放大倍数可达5倍，可观测到24mm见方的样品，便于用户分析寻找样品。
8、高精度的可变焦聚光镜系统 (Precision Zoom Condenser lens)
探测电流发生变化时，图像的聚焦状态可保持不变。
9、全对中的样品台 (Eucentric Stage)
10、大样品室 (Large specimen chamber) ，可对直径为(150mm)的样品进行直接观察 。
11、可安装EBL电子束刻蚀系统。
用户范围及服务项目*
面向物理科学与技术学院各科研单位，材料的结构测试与分析
主要应用成果
1.       三大检索论文约3篇/年；其中一区论文1篇，
2.       培训上机操作人数10余人。
3.       科研课题5项。