哈尔滨工业大学分析测试中心离子溅射仪

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设备名称：离子溅射仪
型号：Cressington 108auto
生产厂家：英国CRESSINGTON公司
投入使用日期：2014.06
安放地点：材料学院632室
设备价值：10,000USD
操作人员：焦健男
联系电话：136-5460-1778
主要性能指标：
样品仓尺寸： 120(∅)×120mm(h)，高强度不锈钢结构
样品台：可放置12个标准SEM样品座，高度可在0~60mm内调节
靶材：铂（Pt）
溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最大180A，配有过流保护
溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制
溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
溅射速率：优于40nm/min
模拟计量：真空Atm-0.01mbar
控制方式：自动气体换气和泄气功能，逻辑顺序处理，带有“暂停”控制的数字定时器0~300s可调
主要配置及附件：PFEIFFER DUO 2.5旋片式真空泵
特色及用途：该设备采用专利的低压直流冷态溅射镀膜，避免样品微纳结构热损伤，以及回路控制保证了溅射电流始终固定不变及不受压力变化影响，保证均匀一致的膜厚和最佳的镀膜效果。在自动模式下，可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。
应用领域：该设备应用于扫描电镜，透射电镜不导电样品的前处理，减少观察时样品表面荷电对图像的影响，也可用于制备电极。
收费标准：100元/次（单次时长不超过300s）
备注：以上收费价格是校内价格，校外翻倍