复旦大学物理学系电子束蒸发系统

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电子束蒸发系统  (Thin Film Depostion System)
  型号规格：        DE400         
  所属部门：        物理学系          产地国别：        美国
  生产厂商：        Thermionics Laboratory 公司          存放地点：        先进材料楼101室
详细信息与技术指标
  主要技术指标：        电子枪功率3kW，本底真空10E-9Torr，6寸旋转样品托（可液氮冷却），坩埚5*2.24cc
  功能/应用范围：        蒸镀各种金属薄膜
  技术特色：       
  主要测试和研究领域：        电子/信息技术
  收费标准：        其它收费方式
联系信息
  仪器负责人：        张远波          电话：        51630268
  手机：                  电子邮件：        zhyb@fudan.edu.cn
  传真：                  其他联系方式：       
  通讯地址：                  邮政编码：       
  仪器网址：