中山大学光电材料与技术国家重点实验室半自动电子束镀膜机

xiaoyou

仪器固定资产编号 2011C362  
所属机构 光电材料与技术国家重点实验室
分类号 03060303  
分类名称 离子镀膜机
仪器中文名称 半自动电子束镀膜机  
仪器别名   型号 ZZSX-700
技术指标 极限真空：抽真空5小时后，可达 Pa；恢复真空：从 Pa至 Pa 约15min；烘烤温度：最高温度350℃；工件架旋转：转速5~25rpm可调；  
应用成果   
功能及特点 真空光学元器件薄膜制备，包括截止滤光膜、带通滤光膜、各种反射膜，、分光膜，减反膜，窄带滤光膜和各种金属薄膜和微纳结构表面制备等。可利用IC-5晶控膜厚监控仪进行非规整膜的制备实验等。   
仪器检定情况 不需检定校准  
厂家 北京北仪创新真空技术有限责任公司  
厂商资质   
厂商国家或地区      
产地国家或地区      
购置年代 1980年   生产年代 1980年   
安放地点 南校区激光所106室  
仪器负责人 江绍基  
通信地址 广州市海珠区新港西路135号中山大学理工学院  
邮政编码 510275  
联系电话 020-84113306  传真 020-84113306
电子邮件 stsjsj@mail.sysu.edu.cn  
启用时间 2011/7/14