大连理工大学机械工程学院ZYGO表面轮廓仪

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• 名称  ZYGO表面轮廓仪
  
• 资产编号  20035123
  
• 型号  NV5000 5022S
  
• 规格  纵向最大1A 物镜5* 10*/50*
  
• 产地  美国
  
• 厂家  ZYGO公司
  
• 所属品牌  ZYGO
  
• 出产日期
  
• 购买日期  2003-11-19
  
• 所属单位  机械工程学院
  
• 使用性质  科研
  
• 所属分类
  
• 联系人  司立坤
  
• 联系电话
  
• 联系邮箱 silk@dlut.edu.cn
  
• 放置地点  现代制造技术与几何量测量实验室107室
  

主要规格及技术指标

横向分辨率：110nm
垂直分辨率：0.1nm
最大扫描深度：2-150μm

主要功能及特色

美国ZYGO公司NewView 5022型3D表面形貌仪，采用白光干涉的原理对高精度的工作表面进行三维几何形貌检测。采用气浮式工作台，可定性及定量地测量表面的粗糙度、波纹度、平整度、台阶高度等，具有拼接及微观几何形状误差分析功能。

样本检测注意事项

1、样本清洁干净
2、检测部位到镜头距离能达到3.4mm，没有障碍影响测量
3、粗糙度Ra值大于5微米不建议使用该仪器测量