- 名称 120mm位相光栅干涉粗糙度轮廓仪
- 资产编号 20811643
- 型号 PGI 840
- 规格
- 产地 英国
- 厂家 TALOR HOBSON Ltd
- 所属品牌 泰勒
- 出产日期
- 购买日期 2008-12-11
- 所属单位 机械工程学院
- 使用性质 科研
- 所属分类
- 联系人 司立坤
- 联系电话
- 联系邮箱 silk@dlut.edu.cn
- 放置地点 现代制造技术与几何量测量实验室107室
主要规格及技术指标 1 扫描箱:
测量长度:120mm
直线度:0.05μm+0.0003μm/mm * 水平移动长度(mm)
移动速度:0.1/0.25/0.5/1.0/10.0mm/秒
测量速度:0.1/0.25/0.5mm/秒或 1.0mm/秒
水平方向数据采集间隔:0.1-15mm测量长度时0.15μm
15-30mm测量长度时0.25μm
30-200mm测量长度时1μm
X轴指示的不确定度:0.3μm + 0.03X(mm)μm
移动高度:450mm
垂直移动速度:0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒
2 工作台
尺寸:760 × 500 × 120 mm
3 传感器
测量量程: 8mm(使用60mm长金刚石测杆,同时测量粗糙度和轮廓)
16mm(使用120mm长球形测杆,测量轮廓)
分辨率: 8mm量程时0.8nm
量程与分辨率之比: 10,000,000 :1
测量力: 1mN(60mm测针);20mN(1200mm测针)
Z轴非线性度:0.07μm + 0.03Z(mm)μm
Z轴指示的重复性: 0.025μm/0.05μm/平面 0.04μm/曲面 主要功能及特色 (1)表面粗糙度测量;
(2)轮廓测量,包括半径和角度分析;
(3) 形状误差测量,包括直线形状误差(直线度)、圆弧和非球面形状误差测量。
用于通用测量/轴承测量/光学非球面测量
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