郑美玲等无掩模光学投影超衍射纳米光刻技术研究取得新进展

正文摘要:

数十年来，光刻作为一种有效的图形转移技术，在实现功能性微纳米尺度结构制备方面一直扮演着重要角色，基于掩模的光刻技术在微电子工业的发展中起着不可或缺的作用。随着器件小型化和集成化，亟需发展高效、灵活的跨 ...