邓辉课题组提出半导体晶圆原子级表面制造新方法

正文摘要:

近日，南方科技大学机械与能源工程系助理教授邓辉研究团队在机械制造领域顶级期刊International Journal of Machine Tools and Manufacture发表题为“An efficient approach for atomic-scale polishing of single-c ...