[材料测试] 中南大学高等研究中心离子减薄系统

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发表于 2017-5-18 08:20:58 | 只看该作者回帖奖励

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离子减薄系统
联系人陈丰翼
邮箱 2272549378@qq.com
电话 0731-88836663
生产厂家美国Gatan公司
型号 691
购买日期 2013.04.11
主要规格及技术指标
离子枪束能量：1.5KV-6KV；束直径：350μm FWHM at 5kev；离子束电流密度：10Ma；减薄速度：硅，每小时40μm，5kv；样品旋转：无极可变，每分钟1-6转；离子束调制：单一或双面横截面减薄；真空度：5E-6Torr基本压强，工作时间8E-5Torrbase；凹坑仪定位精度：小于10nm；减薄厚度控制：1μm。
主要功能及特色
透射电镜的制样

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