大连理工大学机械工程学院120mm位相光栅干涉粗糙度轮廓仪

yizhou

• 名称  120mm位相光栅干涉粗糙度轮廓仪
  
• 资产编号  20811643
  
• 型号  PGI 840
  
• 规格
  
• 产地  英国
  
• 厂家  TALOR HOBSON Ltd
  
• 所属品牌  泰勒
  
• 出产日期
  
• 购买日期  2008-12-11
  
• 所属单位  机械工程学院
  
• 使用性质  科研
  
• 所属分类
  
• 联系人  司立坤
  
• 联系电话
  
• 联系邮箱  silk@dlut.edu.cn
  
• 放置地点  现代制造技术与几何量测量实验室107室
  

主要规格及技术指标

1 扫描箱：
测量长度：120mm
直线度：0.05μm+0.0003μm/mm * 水平移动长度（mm）
移动速度：0.1/0.25/0.5/1.0/10.0mm/秒
测量速度：0.1/0.25/0.5mm/秒或 1.0mm/秒
水平方向数据采集间隔：0.1-15mm测量长度时0.15μm
15-30mm测量长度时0.25μm
30-200mm测量长度时1μm
X轴指示的不确定度：0.3μm + 0.03X（mm）μm
移动高度：450mm
垂直移动速度：0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒

2 工作台
尺寸：760 × 500 × 120 mm

3 传感器
测量量程： 8mm（使用60mm长金刚石测杆，同时测量粗糙度和轮廓）
16mm（使用120mm长球形测杆，测量轮廓）
分辨率： 8mm量程时0.8nm
量程与分辨率之比： 10，000，000 ：1
测量力： 1mN（60mm测针）；20mN（1200mm测针）
Z轴非线性度：0.07μm + 0.03Z（mm）μm
Z轴指示的重复性： 0.025μm/0.05μm/平面 0.04μm/曲面

主要功能及特色

(1)表面粗糙度测量；
(2)轮廓测量，包括半径和角度分析；
(3) 形状误差测量，包括直线形状误差(直线度)、圆弧和非球面形状误差测量。
用于通用测量/轴承测量/光学非球面测量