中山大学纳米技术研究中心半导体参数分析系统

xiaoyou

仪器固定资产编号 20106635  
所属机构 纳米技术研究中心
分类号 03190442  
分类名称 半导体参数分析系统
仪器中文名称 半导体参数分析系统  
仪器英文名称   
仪器别名   型号 KEITHLEY 4200
技术指标 有9个测量槽，内置低噪声接地单元。增加有脉冲信号发生和测量功能，支持脉冲式的半导体特性分析功能。  
应用成果   
功能及特点 直流I-V测量：是器件和材料测试的基础。4200-SCS源测量单元（SMU）是高精度源电流或电压以及同步测量电流和电压的精密仪器。4200-SCS提供的宽范围I-V测量包括：亚ρA漏电测量、μΩ电阻测量。 电容-电压（C-V）测试：广泛用于确定各种半导体参数，例如掺杂浓度和分布、载流子寿命、氧化层厚度、界面态密度等。4200-SCS提供3种C-V法：多频（1kHz~10MHz）C-V、超低频（10mHz~10Hz）C-V和准静态C-V。  
可提供服务范围 测量微纳半导体器件参数  
对样品的要求   
主要附件   
仪器检定情况 不需检定校准      
购置年代 1980年   生产年代 1980年   
共享级别 全国共享  
知名用户   
安放地点 南校区物理楼103A室  
仪器负责人 刘璞  
通信地址 广州市海珠区新港西路135号中山大学理工学院  
邮政编码 510275  
联系电话 020-84113006  传真 020-84113006
电子邮件 liupu5@mail.sysu.edu.cn  
启用时间 2010/9/29