中北大学微米纳米中心纳米压印仪

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纳米压印仪          
联系人 唐军
生产厂家 上海纳腾仪器有限公司
邮箱
型号 NIL-1505080105
电话  13485350603
购买日期  2014/04/15
主要规格和技术参数
纳米压印材料：硅，氮化硅，碳化硅，石英玻璃； 压印模板最大尺寸：4英寸； 最小的特征尺寸为100nm； 纳米压印胶：UV纳米压印胶。
主要功能及特色
纳米压印仪是一种能实现微米、亚微米结构的批量化、低成本的制造加工，能极大的提高了微纳米机械结构的加工效率和一致性。纳米压印技结合正负压可控调节并利用压缩空气作为压印驱动力的，通过压力传导装置、缓冲与匀压、压力调节控制装置等手段实现平稳可靠可控的压印过程，实现从模板纳米图案均匀精确的大面积复制转移到需加工的材料，是实现微纳米结构圆片级、大面积、批量化生产制造的关键技术之一，是实现微机械传感器件低成本、批量化加工、生产的主要技术途径。微米纳米技术中心实验室通过采用纳米压印仪进行微纳米器件和结构的制造，进行批量化、低沉本化研究，实现微纳米结构在加工过程中的一致性、稳定性和可重复性等技术问题。
主要附件及配置