中科院苏州纳米所张宝顺

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　5月30日下午，在第四个全国科技工作者日当天，首场“格致论道＋苏州”科学文化讲坛在苏州保利大剧院举办，同时揭晓了2019年苏州魅力科技人物和苏州魅力科技团队评选结果。纳米加工平台张宝顺团队榜上有名，成为苏州纳米所首个获此荣誉的科研团队。
　　该团队长期致力于半导体器件制作的微纳米加工工艺技术研究，先后承担国家"973"课题、基金委重大计划课题等科研项目数十项。在国内首先研制出基于MEMS工艺的物理系统芯片，基于此芯片合作开发出我国第一款芯片原子钟。利用微纳米加工技术开发出一种新型纳米微波探测器，实现了对微弱信号的高灵敏度检测，相关成果发表在Nature Communications。所依托的纳米加工平台积极开展共性技术研发，申请中国专利161项，其中获授权73项，与200余家企业开展技术合作，大力推动了我国纳米产业的发展。
　　据了解，此次评选活动经过各级基层组织推荐，网络投票、业内专家评审层层筛选，一批活跃在苏州各地各单位科研一线的科技人物和团队脱颖而出，最终在全市范围内仅评审出5个魅力科技团队和10位魅力科技人物。
　　纳米加工平台集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的多功能加工平台。平台已建成6英寸MEMS、GaN基、SiC基和GaAs基芯片加工线及8英寸FBAR加工线，能同时满足科研和企业研发需要。平台通过技术研发、共享服务等方式服务社会，为大量国家和地方重大科研任务、企业关键技术研发提供了坚实的支撑保障。同时自身在功率器件、芯片原子钟等方向成果显著。平台提供对外开放服务，更多信息和预约服务可关注平台网站http://nff.sinano.ac.cn/。