国家重点专项场发射枪扫描电子显微镜通过验收

12月6日,由北京中科科仪股份有限公司承担的国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目技术综合验收会在北京外国专家大厦召开,科技部专家组成员、项目牵头单位、合作和应用单位代表参加了本次会议。

会上,验收专家组现场听取了中科科仪项目负责人张永明所做的完成情况汇报,观看了项目视频,听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员对项目完成情况给予高度评价,一致建议通过验收。

中科科仪多年来一直致力于电子显微镜产品的研制开发与技术升级,1975年中科科仪研制成功的我国第一台DX-3型扫描电子显微镜分辨率达到10nm;1985年与美国AMARY公司合作开发的KYKY-1000B扫描电子显微镜分辨率达到6nm;直至今天KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜分辨率达到了1nm。

此次参与验收的场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具,为前沿科技研究提供重要支撑,提升高端科学仪器研制水平,促进精密制造业发展,满足半导体技术、生命科学、环境保护等领域的迫切需求。该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术,成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜,分辨率指标分别达到和优于3nm@1kV和1nm@30kV,达到国际一流水平,极大促进了我国电子光学仪器产业的发展,使我国扫描电镜实现台阶式飞越,有效解决当前“卡脖子”问题,打破了国外产品垄断局面,促进国家、民族工业发展。极大推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平。

北京中科科仪股份有限公司(简称中科科仪),前身为中国科学院北京科学仪器研制中心(原中国科学院科学仪器厂),始建于1958年,是中国科学院首家事业单位整体转改制企业。六十余年的发展历程,中科科仪在电子光学、离子光学、真空物理及精密加工等技术工程领域,承担了多个国家重要科研攻关项目,多次荣获国家、科学院等相关部门奖励,成功研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪等。中科科仪凭借雄厚的技术创新实力,被评为国家级企业技术中心,是国家首批通过的国家级高新技术企业。为中国通用机械协会副会长单位及真空分会理事长单位,中国真空学会副理事长单位,北京真空学会理事长单位,中国集成电路零部件产业技术创新联盟副理事长单位。

中科科仪是国内尖端科学仪器设备及真空行业的领军者,是电子显微镜行业唯一国产品牌和制造企业。公司新产品研发成果始终代表中国高端电子光学仪器和真空行业最高水平。近年来,公司加大技术创新投入,研制成功国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵,均达到了国际一流水平。

公司总部及研发中心位于海淀区中关村,在昌平设有生产制造工厂,控股或全资子公司有成都中科唯实仪器有限责任公司、北京中科科美科技股份有限公司、苏州中科科仪技术发展有限公司和四川中科科仪技术发展有限责任公司。业务涉及科学仪器设备、核心零部件、技术服务和租赁服务四大领域。产品广泛应用于基础科学研究、高端装备制造、汽车工业、新能源、新材料、节能环保等领域。

中科科仪以“创新科学仪器,发展一流企业”为使命,致力于技术创新,贴近客户,精益求精,以一流电子光学和真空技术,为国家高端科学仪器装备进步和工业制造水平提升贡献力量。