标题:
上海交通大学分析测试中心三离子束切割仪
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作者:
huangsha
时间:
2017-5-5 14:50
标题:
上海交通大学分析测试中心三离子束切割仪
仪器名称
三离子束切割仪
英文名称
规格/型号 *Leica EM TIC 3X/*EM TIC 3X
生产厂商
国别 德国
所属单位 分析测试中心>>120 放置地点 120(120)
负责人 丁莹 邮箱:
yding16@sjtu.edu.cn
鲍中秋 邮箱:
baozq@sjtu.edu.cn
洪立芝 邮箱:
honglizhi@sjtu.edu.cn
收费标准 计时标准:按刷卡使用时间
基础费率:
离子束研磨:
平面抛光【校内:200元 校外:400元】/小时
截面抛光【校内:200元 校外:400元】/小时
性能指标 三把离子枪,离子束能量1~10keV,可选择任意离子枪;可进行离子束切割或刻蚀,切割速率150μm/h(Si@10kV,50μm切割高度),可获得的有效切割截面面积4×1mm;离子束处理过程中样品位置固定,无需偏转运动,无投影效应,热传导性好;样品处理过程可通过体视镜实时监控;真空泵解耦合设计,无震动传导;触摸屏操作面板,直观、简易操作,通过USB即可进行参数和程序的上传或下载。
主要应用 Leica EM TIC 3X三离子束切割仪几乎适用于任何材质的样品,特别适合于软/硬复合、带有孔缝结构、脆性及非均质样品等高难度样品,获得样品截面,从而进行扫描电子显微镜,微区分析(EDS,WDS,Auger,EBSD)以及原子力显微镜或扫描探针显微镜检测。
样品要求 样品上下表面平行;截面切割样品尺寸≤50×50×10mm;平面抛光样品直径≤20mm,厚度≤12mm。
仪器说明 Leica EM TIC 3X通过离子枪激发获得的离子束,以垂直于样品的侧面纵向轰击样品,可获得高质量无应力“切割”截面,便于扫描电镜观察。该处理方法适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度样品的制备;仪器操作简单,可有效避免涂抹效应,不需要大量摸索条件即可获得理想的截面,使样品暴露内部细微结构信息。
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