上海交通大学分析测试中心离子溅射仪&蒸碳仪 -

标题: 上海交通大学分析测试中心离子溅射仪&蒸碳仪 [打印本页]

作者: qidai 时间: 2017-5-4 14:30
标题: 上海交通大学分析测试中心离子溅射仪&蒸碳仪
仪器名称离子溅射仪&蒸碳仪
英文名称 Ion Sputter & Carbon Coating Unit
规格/型号 */*E-1045
生产厂商
国别日本
所属单位分析测试中心>>107 放置地点 107(107)
负责人鲍中秋邮箱：baozq@sjtu.edu.cn
何琳联系电话：1 邮箱：lhe@sjtu.edu.cn
张莹邮箱：ying_zh1990@sjtu.edu.cn
刘丹丹邮箱：eggs@sjtu.edu.cn
洪立芝邮箱：honglizhi@sjtu.edu.cn
丁莹邮箱：yding16@sjtu.edu.cn
收费标准基础费率：
测试项目：
离子溅射金Au膜【校内:100元校外:200元】／单位
离子溅射铂Pt膜【校内:100元校外:400元】／单位
蒸镀碳膜【校内:100元校外:200元】／碳棒
性能指标离子溅射：金Au膜、铂Pt膜蒸镀：碳膜溅射速度：Au：10nm/min Pt：6nm/min 蒸镀碳膜厚度：约20nm
主要应用以改善试样的导电性能，主要用于导电性不佳的试样的扫描电镜观察。
样品要求离子溅射：无磁性蒸镀：样品能承受200℃以上的高温
仪器说明在试样表面离子溅射一层纳米级厚度的金Au膜、铂Pt膜或者蒸镀一层20nm左右的碳膜，以改善试样的导电性能，主要用于导电性不佳的试样的扫描电镜观察。

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